Khi phương pháp TEM mới ra đời, phải phân tích bằng so sánh kết quả đo sâu (Sounding) tại từng điểm với tập đường cong mẫu (Palette) do các nhà lý thuyết biên soạn ra, để chọn cột điện trở suất.

Đầu những năm 1990 thì các phần mềm phân tích đơn điểm (1-D) ra đời, như Temix của hãng Interpex (Mỹ) chạy trên máy PC DOS. Các phần mềm làm việc trên Windows thì có ZondTEM1d, TDEM Geomodel Lưu trữ 2015-08-06 tại Wayback Machine.

Hiện nay các phần mềm phân tích thực hiện xử lý đa điểm. Người sử dụng cần chỉ định tập con các Sounding có mô hình chờ đợi của môi trường tương tự nhau cho một phân tích. Tập con có thể là tuyến hay mảng diện tích. Khi đó chọn ra một điểm có đường cong biểu kiến điển hình, phân tích đơn điểm (Hình e, 1-D Sounding Inversion), sau đó gán mô hình thu được cho các điểm còn lại của tập, rồi phân tích đa điểm (Hình f, Group Sounding Inversion).

Vì trong phân tích tài liệu thăm dò điện thuộc nhóm đo sâu có nhiều phần giống nhau, nên nhiều hãng phần mềm gộp chung thành "phần mềm phân tích tài liệu thăm dò điện", trong đó mỗi phương pháp thăm dò chiếm 1 modul phân tích, ví dụ phần mềm Interpex IX1D (Mỹ).[10]

Hiện có những ý kiến khác nhau về Độ sâu khảo sát (ĐSKS) tin cậy của phương pháp. Một số thiên về dùng "kích thước thiết bị" lớn, ví dụ vòng phát 800 x 800 m để khảo sát đến độ sâu 300 m. Trong khi đó hệ thống PATEM của Đại học Aarhus (Đan Mạch) lại đạt được ĐSKS 100–120 m với kích thước Dipol 25 m.